Ungyu Paik
본 연구실에서는 다양한 형태의 나노 구조체 합성, 나노 스케일 표면 개질, 나노 입자 간의 분산 특성 제어를 포함한 차세대 공정기술 개발을 진행하고 있고, 이러한 공정기술들을 반도체 평탄화 기술(Chemical Mechanical Planarization), lithium ion battery와 같은 에너지 저장 소자, solid oxide fuel cell, water splitting과 같은 에너지 변환소자 등의 소자 구현에 적용 하고 있다. Energy storage분야에서는 나노 구조체를 이용한 고용량 고출력 리튬 이차전지용 전극 제조기술, 저저항 고용량 건식극판기술연구를 수행하고 있고, 차세대 고용량 리튬 이차전지로 촉망받는 lithium metal battery, all-solid state battery에 대한 연구를 수행 중 이다. 이러한 연구성과는 다양한 산업체로 기술 이전이 이루어져 사회 전반적으로 파급 효과를 가져오고 있으며, 대표적으로 리튬 이차전지용 음극 재료의 수계 성형 제조공정을 세계 최초로 개발, 이를 삼성SDI에 기술 이전하여 양산화에 성공하였다. 반도체 평탄화 기술(Chemical Mechanical Planarization)에서는 나노 입자의 분산성 및 슬러리 조성 제어를 통하여 차세대 소재의 도입과 공정에 대한 적용을 위한, 차세대 소자 설계의 변화 및 신소재의 도입을 실제 소자로 구현해낼 수 있는 새로운 CMP 슬러리 개발 연구를 진행하고 있다. 산업체와의 공동연구를 통해, 솔브레인에 국내 최초 ILD CMP 슬러리 제조기술을 이전하였고, KCTech에 국내 최초로 STI CMP 슬러리 제조기술을 개발 후 기술 이전, STI CMP 공정 low dishing 용 슬러리 제조기술을 기술 이전 하였다. 이러한 연구내용을 바탕으로 350편 이상의 SCI논문을 출판 하였다.